微差压变送器测量原理

       微差压变送器采用热式测量原理，适用于测量空气和非侵蚀性气体的压力，具有极高的精度和无偏移漂移。传感器的压力范围±500 Pa（±2英寸H20/±5mbar）具有卓越的精度，分辨率为0.1Pa，整体尺寸为29mmx18mmx26.5mm。SDP810具有模拟电压输出和数字输出，基于盛思锐的CMOSens®传感器技术，在一个小型CMOS芯片上结合了传感器元件、信号处理、数字校准和模拟输出。

       微差压变送器片上集成，将可控加热器置于悬膜中心，将温度传感器沿液体流动方向对称安装在加热元件上下游两端。气体流过薄膜导致热量传递至下游温度传感器，产生温差从而形成可测量的信号。采用深硅蚀刻方式将从背部刻蚀硅芯片从而形成绝热腔体。

       微差压变送器的芯片MEMS部分，其信号可以补偿可能出现的任何温度影响，而无需额外安装校正传感器。因此，CMOSens®技术解决方案既节省空间又具有成本效益。此外，数字芯片上还集成一个数字处理电路和一个存储单元用于存储校正数据。所有盛思锐传感器均在生产过程中单独进行校准，以确保信号始终经完全校准、线性化和温度补偿。

       传统的压阻式差压传感器通常测量量程偏高，且测试时波动干扰较大，无法测量微小压差变化。在对微小管道气流压力差测量的场景时，需要使用热式差压传感器。壳体内有气道，气道两端为进气道和出气道，其中包括2个沿着气道顺次排列的热敏电阻核心单元，测量原理是将2个热敏电阻之间的温度差值转化为气压信息输出。传感原件还包括惠斯通电桥，用于检测两个热敏电阻的电压输出差压信号。以上就是微差压变送器测量原理。